質譜配套氮氣發生器以空氣為原料，以碳分子篩作為吸附劑，運用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱PSA制氮。氮氣發生器與傳統制氮法相比，它具有工藝流程簡單、自動化程度高、產氣快、能耗低，產品純度可在較大范圍內根據用戶需要進行調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強等特點。
質譜配套氮氣發生器主要由儲罐組件、凈化組件、氮氣緩沖系統、氮氧分離系統等四大部件組成。這些部件的作用分別是什么呢？
罐組件由空氣儲罐、安全閥、球閥等組成，其作用是保證系統用氣平穩外，還可以降低壓縮空氣的出氣溫度，使壓縮空氣中水、油等雜質隨壓縮空氣溫度的降低而分離出來，有利于延長后處理設備壽命，同時提高壓縮空氣的品質。
凈化組件主要由管道過濾器、精過濾器、超精過濾器、冷凍干燥機、除油器等組成，其作用是除去壓縮空氣中的塵埃、水和油，為氮氧分離系統提供清潔的原料。
氮氣緩沖系統由緩沖罐、粉塵過濾器、流量計、氣動閥、節流閥、氮氣純度分析儀等組成。其主要作用是使氮氣壓力、純度和流量平穩，氮氣純度分析儀可即時測出氮氣純度，并自動控制氣動閥將不合格氮氣排空。用于均衡從氮氧分離系統分離出來的氮氣的壓力和純度，保證連續供給氮氣穩定。同時，在吸附塔進行工作切換后，它將本身的部分氣體回充吸附塔，一方面幫助吸附塔升壓，另外也起到保護床層的作用，在設備工作過程中起到極重要的工藝輔助作用。
質譜氮氣發生器中的氮氧分離系統是制氮設備的主要部件，由兩個交替工作的吸附塔(塔內裝碳分子篩)和氣動閥、節流閥、消音器等組成。根據碳分子篩對空氣中主要成分氧氣和氮氣的吸附速率不同，在加壓吸附和降壓脫附過程中實現氮氧分離，而加壓吸附與降壓脫附過程由可編程控制器按一定程序控制電磁閥，并由電磁閥控制相應的氣動閥自動運行。
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